Plataforma de leitura 130x85 PIEZO (D)

Mesa de digitalização 130x85 PIEZO (D) para Axio Imager - com sensores lineares e acionamento piezoelétrico - área de deslocamento: 130 mm x 85 mm - velocidade máxima: 100 mm/seg - resolução: 0,1 µm - precisão de repetibilidade: +/- 0,6 µm - precisão absoluta: +/- 3 µm - interruptor de fim de curso ajustável velocidade máxima 100 mm/seg - resolução: 0,1 µm - reprodutibilidade: +/- 0,6 µm - precisão absoluta: +/- 3 µm - interruptores de fim de curso ajustáveis - para moldura de inserção 160 x 116 mm e Z-PIEZO

Número do artigo ZEISS: 432022-9903-000